2003.03

   청진테크 주식회사설립

 2003.07

   국내 반도체장비회사(APTC)와 ESC 개발 및 공급계약

 2004.03

   하이닉스반도체 4라인 LAM장비 협력업체 선정

 2004.02

   일본 AQUA 사이언스와 AGENT 계약체결

 2005.04

   삼성전자 반도체 9라인 Maint Support 계약

 2006.03

   ESC 성능테스트 장비 개발 및 업체 납품 - Q.C Check

 2006.03

   에이치장비용 ESC PAWER SUPPLY 개발

 2007.10

   정전척시스템의 잔류 전하 소거 장치 특허 등록 (10-0167031)

 2007.12

   일본반도체 전시회 semicon japng 참가

 2008.02

   벤처기업 인증

 2008.06

   정전척 시스템의 검사 장치 및 방법 특허 등록 (10-0839607)

 2008.11

   ESC Power Supply 일본 Sharp사 및 대만 뱅가드사 데모 테스트

 2009.05

   지식경제부 주관 신뢰성기술기반사업과제선정 (전자부품연구원 공동수행)

 2009.06

   중소기업청 주관 기술개발사업 과제 선정 (단독수행)

 2010.08

   2009년도 신뢰성 정부과제 종료 및 최종 과제성공 판정

 2010.09

   페어차일드 코리아 Triton 장비 수주

 2010.12

   2009년도 중기청 정부과제 종료 및 최종 과제성공 판정

 2011.02

   기업부설 연구소 설립

 2011.06

   웅진에너지 Triton PVX 수주

 2011.09

   삼성전자협력업체 선정등록

 2011.12

   삼성전자LED사업부 cavity steam 세정양산장비 수주

 2011.12

   삼성전자LED사업부 cavity steam 세정R&D장비 수주

 2012.03

   정전척 시스템의 누설전류 모니터링장치 특허 등록 (10-1127165)

 2012.12

   174,500,000 자본금증액

 2013.01

   이노비즈기업인증

 2013.06

   cavity steam 세정장비 ECOMA200 TUV 인증

 2013.06

   cavity steam 세정장비 ECOMA300 TUV 인증

 2013.10

   웨이퍼 세정시스템 특허 등록 (10-13172521)

 2013.11

   세정장비의 세정유체 분리회수장치 특허 등록 (10-137303)

 2014.03

   세정장치 특허등록 (10-1458512)

 2014.03

   웨이퍼카세트로케이팅장치 로보스타공동 특허등록 (10-1381219)

 2014.03

   웨이퍼리버스 장치 로보스타 공동 특허등록 (10-1379232)

 2014.10

   세정장치 특허등록 (10-145812)

 2014.11

   474,490,000 자본금 증액

 2014.11

   다상유체 분사체 특허등록 (10-1426267)

 2014.12

   주식회사 세미콘 라이트 cavity steam 세정장비 수주

 2015.10

   593,115,000 자본금 증액

 2016.04

   분사장치 특허등록 (10-1618807)

 2017.02

   (주)LG전자 생산기술연구원에 2G용 Cavity steam 세정장비 수주